Tantaltiegel mit Deckel
Produktübersicht und Design-Highlights
In Grenzgebieten wie dem epitaktischen Halbleiterwachstum (MBE/CVD), dem Schmelzen hochreiner Seltenerdmetalle, der Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtung (E-Beam Evaporation) und der Hochtemperaturanalyse im Labor ist die Inertisierung und Abdichtung von Behältern gegenüber korrosiven Schmelzen bei ultrahohen Temperaturen von entscheidender Bedeutung. Unsere hochreinen Tantaltiegel mit Deckel/Miniatur-Tantalzellen sind für Ultrahochvakuum (UHV) und extreme chemische Korrosion konzipiert und bieten eine zuverlässige Hochtemperatur-Schmelzschutzlösung für hochpräzise Experimente und die industrielle Produktion.
Wie im physischen Bild gezeigt, umfasst diese Produktserie einen schlanken, zylindrischen, dünnwandigen Tantal-Tiegelkörper und genau darauf abgestimmte Präzisions--Tantal-Deckel. Das Material besteht aus hoch-dichten reinen Tantalblechen oder -stäben mit einer Reinheit von mindestens 99. 95 % (hoch-reiner Halbleitergrad kann 99,99 % erreichen) und wird durch nahtloses Tiefziehen oder präzises CNC-Integraldrehen verarbeitet. Die nahtlose Konstruktion der Gesamtstruktur erhöht das Risiko einer Konzentration thermischer Spannungen und von Leckagen bei hohen Temperaturen erheblich. Die Innen- und Außenflächen des Tiegels weisen einen gleichmäßigen hellen Silberglanz auf, und die Düse und der Deckel erreichen eine hochpräzise Spaltpassung im Mikrometerbereich (Precision Clearance Fit), die nicht nur staub- und sputtersicher ist, sondern auch den Verdampfungsverlust flüchtiger Elemente bei hohen Temperaturen wirksam verhindert.
Professioneller Kernwert
1. Ein-nahtloses Formteil und enge Passform mit Mikrometer--Abdeckfolie (nahtlose Konstruktion und präzise Deckelpassung)
Aufbau Wenn die hochflüchtige Probe erhitzt und geschmolzen wird oder die Molekularstrahlepitaxie (MBE)-Strahlquelle verdampft, bestimmen die Dichtungseigenschaft des Behälters und die Gleichmäßigkeit der Wandstärke direkt den Materialverlust und die experimentelle Genauigkeit. Unsere Miniatur-Tantaltiegel mit Deckel nutzen nahtloses Formen oder hochpräzise Drehtechnologie, um Leckagen durch Schweißnähte auszuschließen. Die beiliegende Waferabdeckung ist präzise geschliffen und kann nahtlos an der Tiegelöffnung befestigt werden, wodurch das Eindringen von Verunreinigungen und eine ungeordnete Ausbreitung flüchtiger Metalldämpfe wirksam verhindert wird.
2. Hervorragende chemische Korrosionsimmunität für stark korrosive Schmelzen
Reines Tantal weist eine starke Korrosionsbeständigkeit gegenüber vielen geschmolzenen Metallen (wie Kupfer, Silber, Gold, Blei, Wismut und einigen Seltenerdmetallen) und sauren geschmolzenen Salzen bei hohen Temperaturen auf und neigt nicht zu chemischen Reaktionen mit den meisten organischen Verbindungen. Dies macht den Tantaltiegel mit Deckel zu einem Träger für die Reinigung hochreiner Metalle, das Schmelzen analytischer Proben bei hoher Temperatur und die Synthese von Einkristallmaterialien.
3. Ultra-Geringe Ausgasung für Vakuumöfen für Ultrahochvakuum (UHV)
Alle Tantaltiegel mit Deckel wurden vor Verlassen des Werks einem Hochvakuumglühen und einer tiefen chemischen Beizentfettung unterzogen und es befinden sich keine Karbide, Oxide oder Fettrückstände auf der Oberfläche. Beim Einsatz in Hochvakuum-Thermofeldern oder Widerstandsheizöfen bis 10 Grad Pa werden keine flüchtigen Gase freigesetzt, was die Reinheit der Vakuumkammer und des Beschichtungsfilms erheblich schützt.
4. Unterstützen Sie die Anpassung technischer Zeichnungen und komplexer Strukturen (kundenspezifisches Prototyping und CAD/CAM-Design).
Wir sind uns der vielfältigen Bedürfnisse von wissenschaftlichen Forschungseinrichtungen und Herstellern von Halbleitergeräten an Verdampfungsquellen und Tiegelgrößen bewusst. Von nadelförmigen Miniaturbehältern bis hin zu industriellen Schmelztiegeln mit großem Durchmesser unterstützen wir vollständig die Prüfung von Kleinserien oder die flexible Produktion von Großserien entsprechend den CAD-/STEP-/DWG-/PDF-Zeichnungen unserer Kunden und können je nach Bedarf spezielle, speziell geformte Strukturen mit abgestuften Kanten, Gewindekappen oder mit Temperaturmesslöchern bereitstellen.
Technische Kernparameter und Spezifikationen
Grundlegende physikalische und chemische Eigenschaften
| Eigentum | Detaillierte Parameter | Notizen/Vorteile |
| Grad |
Ta1/UNS R05200 (Elektronenstrahlgeschmolzenes reines Tantal, EB-geschmolzen) Ta2/UNS R05400 (Pulvermetallurgie reines Tantal) Ta-10W/Ta-2. 5W (Tantal-Wolfram-Legierung, erhöhte Kriechbeständigkeit bei hohen Temperaturen) |
Entspricht dem internationalen Standard ASTM B708/ASTM B365 |
| Reinheit | Größer als oder gleich 99,95 % (Halbleiter-/Kernqualität bis zu 99,99 %) | Spurenkontrolle von interstitiellen Verunreinigungen (O, N, C, H) und Metallverunreinigungen |
| Dichte |
16,69 g/cm³ |
Das Material ist 100 % dicht und verfügt über ein hervorragendes Penetrationsvermögen gegen flüchtige Stoffe |
| Schmelzpunkt |
2996 Grad (5425 ℉) |
Kann bei einer Hochvakuumtemperatur von 1900 Grad - 2500 Grad betrieben werden |
| Dampfdruck | Kann bei einer Hochvakuumtemperatur von 1900 Grad - 2500 Grad betrieben werden | Verhindert, dass die Verdampfungsquelle durch Metallmassen im Tiegel verunreinigt wird |
| Oberflächenbehandlung | Polierte Oberfläche (poliert), gewaschene Oberfläche (chemisch gereinigt), drehende/drehende Originaloberfläche | Ohne Oberflächenschmiermittel und Kohlenwasserstofffettrückstände |
Abmessungen, Spezifikationen und Bearbeitungstechniken
|
Artikel |
Spezifikation |
| Abmessungen | Mikrokapazität 0,5 ml-10 ml (schlanker Mikrotiegel wie im Bild gezeigt) Mittleres und großes Fassungsvermögen 50 ml–2000 ml (Außendurchmesser/Höhe unterstützt individuelle Anpassung) |
| Wandstärke | 0,3 mm-3,0 mm (dünne Wand, gleichmäßige Wärmeübertragung, schnellere, dicke Wand, tragfähig und ablationsbeständig) |
|
Toleranz |
Außen-/Innendurchmessertoleranzen: ± 0. 03 mm-± 0. 05 mm; Präzise Temperaturkontrolle mit Passspalt |
| Verarbeitung | Hochdichtes Schmelzen – Nahtloses Tiefziehen/Spinnen/CNC-Drehen – Ultraschallentfettung – Vakuumglühen |
| Deckeloptionen | Flache Kappe, aufsteckbarer Deckel, belüfteter Deckel mit Druckentlastung |
|
Standards |
ASTM B708 (Standardspezifikation für Platten, Bleche und Bänder aus Tantal und Tantallegierungen) ASTM B365 (Standardspezifikation für Tantalstäbe und -drähte) |
Typische Anwendungsbereiche
Halbleiter- und Dünnschichtabscheidung: Molekularstrahlepitaxie (MBE)-Strahlquellentiegel, Elektronenstrahlverdampfungsquelle (E-Beam Crucible Liner), Verdampfungsträger mit organischer Leuchtdiode (OLED).
Hoch-Metallurgie (Hoch-Metallurgie): Schmelzen von Seltenerdmetallen, Reinigung von Legierungen, Umschmelzen und Gießen von hoch-Edelmetallen.
Labor und Analytik: Thermogravimetrische Hochtemperaturanalyse (TGA/DSC), Schmelzen starker Säureproben, Hochvakuum und Hochtemperatur-Wärmebehandlungsgefäß.
Nukleartechnik und Luft- und Raumfahrt: Prüfgefäße für die Korrosivität von Flüssigmetallen, Hochtemperatur-Kühlkörperkomponenten und Isotopenextraktionsgefäße.
Kontrolle und Exportverpackung
Jeder Tantaltiegel mit Deckel wurde vor Verlassen des Werks einer strengen Größenmessung, einer mikroskopischen Oberflächenprüfung und einer Spektroskopie der chemischen Zusammensetzung unterzogen. Bei Bedarf wird ein Materialprüfbericht (MTC) gemäß EN 10204 3.1-Standard bereitgestellt. Was die Verpackung betrifft, so ist das Produkt mit einem doppelschichtigen, staubfreien Beutel versiegelt und die innere Schicht ist in einer stoßfesten, geformten Schaumstoffbox untergebracht, um sicherzustellen, dass der Tiegelkörper und die Abdeckfolie während des grenzüberschreitenden Transports keinen Druckveränderungen oder Kratzern ausgesetzt werden und nach dem Öffnen direkt in die Hände der Kunden gegeben werden können. Einsatz in Ultrahochvakuum- oder Hochreinheitslaboren.

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